第83章 现在就拆给你看!(2/5)
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在传统的硅片抛光打磨中,通常会先用机械抛光机,对硅片进行初步打磨,再清洗,最后进行化学机械抛光,也称为精磨。
精磨是一种利用抛光液的化学腐蚀功能,配合机械转盘的机械打磨,两者互相配合来达到硅片的工艺标准。
实验的结果是 RMS,比他们能做的极限还差不少。
康驰沉思了片刻,然后说道:“换成30wt%Al2O3基液,加65wt%高锰酸钾作为化学抛光液,用5wt%HNO3调成的PH值再试一遍。”
严辉点了点头,带着研究员们调配好抛光液,然后重新进行了一次实验。
“平整度 RMS。”
看到这个结果,原本还有点小期待的严辉,不由露出一抹失望的神色。
但康驰却依然不为所动,又报出了一组抛光液配比,让他们重新进行第三次实验。
“平整度 RMS。”
?
还是?!
是巧合吗?
虽然显然是远远不达标的,但严辉却似乎意识到了什么,有些惊讶地转头看向康驰。
“你……计算好的?”
“算是吧。”
康驰点了点头。
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